Volodin, V. A.,
Kamaev, G. N.,
Yushkov, I. D.,
Krivyakin, G. K.,
Cherkova, S. G. &
Vergnat, M.,
31 янв. 2022,
International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2021. Lukichev, V. F. & Rudenko, K. V. (ред.).
SPIE, 121570A. (Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering; том 12157).
Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › Рецензирование