Пащенко, С. Э.,
Пащенко, С. С.,
Каляда, В. В.,
Зарвин, А. Е.,
Косых, А. М.,
Гартвич, Г. Г.,
Страхов, М. Ю.,
Скрябин, Ю. В.,
Петров, О. В. &
Путинцев, В. В.,
16 нояб. 2019, IPC № C01L9/00, C01L9/10, Роспатент - Федеральная служба по интеллектуальной собственности, Патент/Св-во № 2707276, Дата приоритета
27 авг. 2019, № приоритета 2019127092
Результаты исследований: Патенты/Свидетельства о регистрации › патент на изобретение