Формирование ускоренных ионно-кластерных пучков аргона для модификации поверхности

Коробейщиков, Н. Г., Зарвин, А. Е., Каляда, В. В. & Шмаков, А. А., 2012, Материалы XIX научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника». Быков, Д. В. (ред.). Москва: МИЭМ НИУ ВШЭ, стр. 166-169 4 стр.

Результаты исследований: Публикации в книгах, отчётах, сборниках, трудах конференций › статья в сборнике материалов конференции › научная › Рецензирование