Шкляев, А. А.,
Utkin, D.,
Царев, А. В. &
Латышев, А. В.,
2024,
Тезисы докладов XV Конференции по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе. Иркутск, 2024. Иркутск,
p. 73 1 p.Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research › peer-review