Шмаков, А. А., 
Коробейщиков, Н. Г., 
Каляда, В. В., 
Пеньков, О. И. & 
Зарвин, А. Е., 
Jun 2015, 
«Фундаментальные основы МЭМС и нанотехнологий» : Доклады V Всероссийской конференции. Новосибирск. 15-18 июня 2015 г.. Рудяк, В. Я. (ed.). Новосибирск: 
	Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования Новосибирский государственный архитектурно-строительный университет (Сибстрин), 
Vol. 2. 
p. 174-176 3 p.Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research › peer-review