Шмаков, А. А.,
Коробейщиков, Н. Г.,
Каляда, В. В.,
Пеньков, О. И. &
Зарвин, А. Е.,
Jun 2015,
Доклады V Всероссийской конференции. «Фундаментальные основы МЭМС и нанотехнологий». Новосибирск. 15-18 июня 2015 г.. Рудяк, В. Я. (ed.). Новосибирск,
Vol. 2.
p. 174-176 3 p.Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research › peer-review