Пащенко, С. Э.,
Пащенко, С. С.,
Каляда, В. В.,
Зарвин, А. Е.,
Косых, А. М.,
Гартвич, Г. Г.,
Страхов, М. Ю.,
Скрябин, Ю. В.,
Петров, О. В. &
Путинцев, В. В.,
16 Nov 2019, IPC No. C01L9/00, C01L9/10, Роспатент - Федеральная служба по интеллектуальной собственности, Patent No. 2707276, Priority date
27 Aug 2019, Priority No. 2019127092
Research output: Patent › Patent for invention