Sun, 01 Jan 2012 00:00:00 GMT

Формирование ускоренных ионно-кластерных пучков аргона для модификации поверхности
Коробейщиков, Н. Г., Зарвин, А. Е., Каляда, В. В. & Шмаков, А. А., 2012, Материалы XIX научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника». Быков, Д. В. (ed.). Москва: Publishing House of the Higher School of Economics, p. 166-169 4 p.
Research output: Chapter in Book/Report/Conference proceeding › Conference contribution › Research › peer-review

Original language | Russian
Title of host publication | Материалы XIX научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника»
Editors | Д. В. Быков
Place of Publication | Москва
Publisher | Publishing House of the Higher School of Economics
Pages | 166-169
Number of pages | 4
ISBN (Print) | 978-5-94506-334-1
Publication status | Published - 2012